АСТОЛ
Поставка и сервис контрольно-измерительного оборудования и технологического оборудования для задач микроэлектроники
+7 (495) 234-23-32
Пн. – Пт.: с 9:00 до 18:00
Заказать звонок
123317, Москва,
ул. 3-я Красногвардейская, 3
О Компании
  • Лицензии и сертификаты
Каталог
  • Силовые полупроводниковые приборы
    Силовые полупроводниковые приборы
    • Диоды
    • Силовые сборки
    • Тиристоры
    • Транзисторы
  • Полупроводниковые пластины и слитки
    Полупроводниковые пластины и слитки
    • GaAs пластины
    • Кремниевые пластины
    • Молибденовые пластины
  • Вакуумные печи
    Вакуумные печи
    • Водородные печи
    • Горизонтальные вакуумные печи
    • Шахтные вакуумные печи
  • Заготовки фотошаблонов
    Заготовки фотошаблонов
    • Для контактной фотолитографии
    • Для проекционной фотолитографии
  • Измерительные цифровые микроскопы
    Измерительные цифровые микроскопы
    • Система измерений Keyence IM-8000
  • Электронно-лучевые литографы
    Электронно-лучевые литографы
Производители
Сервис
Новости
Статьи
Галерея
Контакты
    АСТОЛ
    О Компании
    • Лицензии и сертификаты
    Каталог
    • Силовые полупроводниковые приборы
      Силовые полупроводниковые приборы
      • Диоды
      • Силовые сборки
      • Тиристоры
      • Транзисторы
    • Полупроводниковые пластины и слитки
      Полупроводниковые пластины и слитки
      • GaAs пластины
      • Кремниевые пластины
      • Молибденовые пластины
    • Вакуумные печи
      Вакуумные печи
      • Водородные печи
      • Горизонтальные вакуумные печи
      • Шахтные вакуумные печи
    • Заготовки фотошаблонов
      Заготовки фотошаблонов
      • Для контактной фотолитографии
      • Для проекционной фотолитографии
    • Измерительные цифровые микроскопы
      Измерительные цифровые микроскопы
      • Система измерений Keyence IM-8000
    • Электронно-лучевые литографы
      Электронно-лучевые литографы
    Производители
    Сервис
    Новости
    Статьи
    Галерея
    Контакты
      АСТОЛ
      • О Компании
        • Назад
        • О Компании
        • Лицензии и сертификаты
      • Каталог
        • Назад
        • Каталог
        • Силовые полупроводниковые приборы
          • Назад
          • Силовые полупроводниковые приборы
          • Диоды
          • Силовые сборки
          • Тиристоры
          • Транзисторы
        • Полупроводниковые пластины и слитки
          • Назад
          • Полупроводниковые пластины и слитки
          • GaAs пластины
          • Кремниевые пластины
          • Молибденовые пластины
        • Вакуумные печи
          • Назад
          • Вакуумные печи
          • Водородные печи
          • Горизонтальные вакуумные печи
          • Шахтные вакуумные печи
        • Заготовки фотошаблонов
          • Назад
          • Заготовки фотошаблонов
          • Для контактной фотолитографии
          • Для проекционной фотолитографии
        • Измерительные цифровые микроскопы
          • Назад
          • Измерительные цифровые микроскопы
          • Система измерений Keyence IM-8000
        • Электронно-лучевые литографы
      • Производители
      • Сервис
      • Новости
      • Статьи
      • Галерея
      • Контакты
      • +7 (495) 234-23-32
      123317, Москва,
      ул. 3-я Красногвардейская, 3
      info@astol.su

      Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4

      • Компания «Астол»
      • Каталог
      • Вакуумные печи
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      Новинка
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Горизонтальная вакуумная ретортная печь Термионик Т4
      • Описание
      • Характеристики
      • Документы
      Описание

      Преимущества:

      • герметичная реторта позволяет создать высокий вакуум;
      • удобство загрузки/выгрузки;
      • максимальный вес садки до 100 кг (в зависимости от размеров тепловой зоны);
      • полная автоматизация технологического процесса;
      • моноблочное исполнение;
      • простота наладки, управления и обслуживания.

      Схема загрузки:

      фронтальная.

      Вакуумная система:

      в стандартной комплектации включает:

      • двухступенчатый пластинчато-роторный форвакуумный насос;
      • вакуумметр Пирани;
      • вакуумный клапаны и арматуру.

      Системы управления:

      управление всеми вакуумными агрегатами, мощностью нагревателей, подачей технических газов, а также электромеханическими элементами реализовано на базе промышленного контроллера Siemens-S7.
      Программное обеспечение выполняет следующие функции:

      • отображение схемы вакуумной системы печи с основными рабочими параметрами (температура в рабочей зоне, вакуум в рабочей зоне, а также в диффузионном насосе, температура нагревателей диффузионного насоса, скорость потока и давление технического газа);
      • управление вакуумными клапанами (осуществляет открывание/закрывание и мониторинг фактического состояния клапанов по каналу обратной связи с выводом ошибки в случае отказа клапана);

      Вакуумная камера:

      изготовлена из жаропрочной нержавеющей стали и состоит из нагреваемой цилиндрической части, а также охлаждаемых торцевого фланца и дверцы. Нагревательные элементы из фехраля (CrFeAl) симметрично расположены вокруг и защищенные теплоизоляцией из керамического волокна.
      В задней части реторты предусмотрен ввод датчика температуры (термопары), расположенного рядом изделиями в процессе термообработки.

      Опции:

      возможна подача технических газов в вакуумную камеру (при избыточном давлении не более 0,02 МПа), которая осуществляется через регулятор расхода газа, давление измеряется датчиком давления. По желанию заказчика вакуумная печь может быть укомплектована высоковакуумными (турбомолекулярным или диффузионным) насосами, а также спиральным насосом для работы в безмасляном вакууме.

      • увеличение размеров рабочей зоны и максимальной рабочей температуры печи;
      • дополнительный форвакуумный насос для откачки диффузионного насоса;
      • комплектация печи дополнительными (в т.ч. автоматически выдвигающимися) термопарами и пирометром;
      • комплектация печи турбомолекулярным и спиральным насосами с необходимыми характеристиками;
      • система подачи технического газа в вакуумную камеру (одного или нескольких) при избыточном давлении не более 0,02 МПа;
      • работа при парциальном давлении – контролируемый впуск технического газа;
      • система ускоренного охлаждения садки (или закалки мелких деталей) продувом аргоном/азотом на базе дополнительного контура, включающего вентилятор и теплообменник;
      • система водяного охлаждения печи.
      Характеристики
      РАБОЧАЯ ЗОНА Диаметр: 100 — 500 мм Глубина: 300— 1000 мм
      СХЕМА ЗАГРУЗКИ Фронтальная
      РАБОЧИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ Максимальная длительная температура в рабочей зоне: 650°С (в вакууме) 950°С (в инертнойтмосфере);
      ЗОНА НАГРЕВА Нагреватели: фехраль (расположены снаружи реторты) Теплоизоляция: керамическое волокно.
      ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ (НЕ БОЛЕЕ) Длина: 2300 - 3000 мм Ширина: 1200 - 1800 мм Высота: 1800 - 2200 мм
      МАССА Не более 2000 кг
      МАССА САДКИ До 100 кг (в зависимости от габаритов рабочей зоны)
      ПИТАНИЕ 380 В, 50 Гц
      Документы
      Термионик Т4
      592.5 Кб
      Каталог 2021
      10 Мб
      Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос по товару
      Задать вопрос

      Назад к списку
      О Компании
      Лицензии и сертификаты
      Новости
      Статьи
      Галерея
      Контакты
      Каталог
      Силовые полупроводниковые приборы
      Полупроводниковые пластины и слитки
      Вакуумные печи
      Заготовки фотошаблонов
      Измерительные цифровые микроскопы
      Электронно-лучевые литографы
      Контакты

      +7 (495) 234-23-32
      Пн. – Пт.: с 9:00 до 18:00
      123317, Москва,
      ул. 3-я Красногвардейская, 3
      info@astol.su
      © 2025 Astol. Все права защищены.