АСТОЛ
Поставка и сервис контрольно-измерительного оборудования и технологического оборудования для задач микроэлектроники
+7 (495) 234-23-32
Пн. – Пт.: с 9:00 до 18:00
Заказать звонок
123317, Москва,
ул. 3-я Красногвардейская, 3
О Компании
  • Лицензии и сертификаты
Каталог
  • Силовые полупроводниковые приборы
    Силовые полупроводниковые приборы
    • Диоды
    • Силовые сборки
    • Тиристоры
    • Транзисторы
  • Полупроводниковые пластины и слитки
    Полупроводниковые пластины и слитки
    • GaAs пластины
    • Кремниевые пластины
    • Молибденовые пластины
  • Вакуумные печи
    Вакуумные печи
    • Водородные печи
    • Горизонтальные вакуумные печи
    • Шахтные вакуумные печи
  • Заготовки фотошаблонов
    Заготовки фотошаблонов
    • Для контактной фотолитографии
    • Для проекционной фотолитографии
  • Измерительные цифровые микроскопы
    Измерительные цифровые микроскопы
    • Система измерений Keyence IM-8000
  • Электронно-лучевые литографы
    Электронно-лучевые литографы
Производители
Сервис
Новости
Статьи
Галерея
Контакты
    АСТОЛ
    О Компании
    • Лицензии и сертификаты
    Каталог
    • Силовые полупроводниковые приборы
      Силовые полупроводниковые приборы
      • Диоды
      • Силовые сборки
      • Тиристоры
      • Транзисторы
    • Полупроводниковые пластины и слитки
      Полупроводниковые пластины и слитки
      • GaAs пластины
      • Кремниевые пластины
      • Молибденовые пластины
    • Вакуумные печи
      Вакуумные печи
      • Водородные печи
      • Горизонтальные вакуумные печи
      • Шахтные вакуумные печи
    • Заготовки фотошаблонов
      Заготовки фотошаблонов
      • Для контактной фотолитографии
      • Для проекционной фотолитографии
    • Измерительные цифровые микроскопы
      Измерительные цифровые микроскопы
      • Система измерений Keyence IM-8000
    • Электронно-лучевые литографы
      Электронно-лучевые литографы
    Производители
    Сервис
    Новости
    Статьи
    Галерея
    Контакты
      АСТОЛ
      • О Компании
        • Назад
        • О Компании
        • Лицензии и сертификаты
      • Каталог
        • Назад
        • Каталог
        • Силовые полупроводниковые приборы
          • Назад
          • Силовые полупроводниковые приборы
          • Диоды
          • Силовые сборки
          • Тиристоры
          • Транзисторы
        • Полупроводниковые пластины и слитки
          • Назад
          • Полупроводниковые пластины и слитки
          • GaAs пластины
          • Кремниевые пластины
          • Молибденовые пластины
        • Вакуумные печи
          • Назад
          • Вакуумные печи
          • Водородные печи
          • Горизонтальные вакуумные печи
          • Шахтные вакуумные печи
        • Заготовки фотошаблонов
          • Назад
          • Заготовки фотошаблонов
          • Для контактной фотолитографии
          • Для проекционной фотолитографии
        • Измерительные цифровые микроскопы
          • Назад
          • Измерительные цифровые микроскопы
          • Система измерений Keyence IM-8000
        • Электронно-лучевые литографы
      • Производители
      • Сервис
      • Новости
      • Статьи
      • Галерея
      • Контакты
      • +7 (495) 234-23-32
      123317, Москва,
      ул. 3-я Красногвардейская, 3
      info@astol.su

      Шахтная вакуумная печь Термионик Т1

      • Компания «Астол»
      • Каталог
      • Вакуумные печи
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      Новинка
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Шахтная вакуумная печь Термионик Т1
      • Описание
      • Характеристики
      • Документы
      Описание

      Преимущества:

      • Удобство загрузки и выгрузки маленьких предметов и длинных деталей, которые обрабатываются в вертикальном положении. Для этого печь оснащена специальным механизмом автоматического открытия и закрытия вакуумной камеры, а также приспособлением для загрузки предметов.
      • Максимальный вес загружаемых предметов - до 20 кг, в зависимости от размеров тепловой зоны.
      • Полностью автоматизированный технологический процесс.
      • Компактное исполнение.
      • Простота настройки, управления и обслуживания.

      Схема загрузки:

      Загрузка осуществляется сверху через отверстие в верхней части вакуумной камеры, которое герметично закрывается крепежным фланцем.

      Вакуумная камера:

      Вакуумная камера, изготовленная из нержавеющей стали 12Х18Н10Т, имеет структуру, состоящую из цилиндрической части, которая оснащена рубашкой для охлаждения, а также охлаждаемых фланцев. Внутри камеры расположены водоохлаждаемые токовводы, питающие нагреватели, а также линия электрической цепи, соединяющая токовводы с трансформатором.

      Вакуумная система:

      В состав стандартной вакуумной системы входят диффузионный насос, двухступенчатый пластинчато-роторный форвакуумный насос, широкодиапазонный вакуумметр, вакуумный затвор, клапаны и арматура.

      Тепловая зона:

      Тепловая зона включает в себя боковые и торцевые экранные блоки с тепловыми экранами. Для тепловой изоляции предусмотрены два варианта исполнения - экранные теплоизоляции и нагреватели из тугоплавких металлов или графита.
      Для измерения температуры до 2000 °C используется специальный тип термоэлементов, а именно вольфрам-рениевая термопара. Если температура превышает 2000 °C, то для измерения используется инфракрасный пирометр.

      Системы управления:

      В системах управления применяется промышленный контроллер Siemens-S7, который обеспечивает управление всеми вакуумными агрегатами, контроль мощности нагревателей, подачу технических газов и работу электромеханических элементов.

      Программное обеспечение выполняет следующие функции: отображение схемы вакуумной системы печи с основными рабочими параметрами (температура в рабочей зоне, вакуум в рабочей зоне, в диффузионном насосе, температура нагревателей диффузионного насоса, скорость потока и давление технического газа).
      Контроль над вакуумными клапанами (предпринимает действия по открытию/закрытию клапанов и отслеживает текущее состояние клапанов через обратную связь, сообщая об ошибке в случае сбоя клапана);
      Управление вакуумными насосами (осуществляет активацию/деактивацию насосов).

      Опции:

      • увеличение размеров рабочей зоны и максимальной рабочей температуры печи;
      • дополнительный форвакуумный насос для откачки диффузионного насоса;
      • комплектация печи дополнительными (в т.ч. автоматически выдвигающимися) термопарами и пирометром;
      • комплектация печи турбомолекулярным и спиральным насосами с необходимыми характеристиками;
      • система подачи технического газа в вакуумную камеру (одного или нескольких) при избыточном давлении не более 0,02 МПа;
      • работа при парциальном давлении – контролируемый впуск технического газа;
      • система ускоренного охлаждения садки (или закалки мелких деталей) продувом аргоном/азотом на базе дополнительного контура, включающего вентилятор и теплообменник;
      • система водяного охлаждения печи
      Характеристики
      ИСПОЛНЕНИЕ Моноблочное
      РАБОЧАЯ ЗОНА Диаметр: 100 - 300 мм Высота: до 400 мм
      СХЕМА ЗАГРУЗКИ Верхняя Система автоматического открывания/закрывания печи (подъемно-поворотный механизм верхнего фланца на базе швп)
      РАБОЧИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ Максимальная длительная температура в рабочей зоне: 1000 - 2500 °C Точность поддержания температуры: не хуже ±5 °C (по термопаре);
      ЗОНА НАГРЕВА Нагреватели: молибден/вольфрам/графит Защитные экраны внутри вакуумной камеры: тугоплавкие металлы/графит Максимальная скорость нагрева: 10-20°с/мин в интервале от комнатной температуры до рабочей
      ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ(НЕ БОЛЕЕ) Длина: 2100 мм Ширина: 900 мм Высота: 1300 мм
      МАССА Не более 1000 кг
      МАССА САДКИ До 20 кг (в зависимости от габаритов рабочей зоны)
      ПИТАНИЕ 380В, 50 Гц
      СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ Системы управления на базе промышленного контроллера Siemens-S7: автоматическая и ручная Автоматический режим обеспечивает полностью автоматическое управление всеми активными элементами печи (вакуумные насосы, клапаны, система нагрева). Система управления обеспечивает реализацию следующих параметров в каждом сегменте программы: - вакуум (нагрев происходит с учетом достижения в рабочей зоне печи требуемого уровня вакуума, что используется при термообработке материалов с высоким газовыделением); - температура и скорость нагрева/охлаждения; - время; - напуск технических газов. Во избежание аварийных ситуация система управления снабжена блокировкой и резервной термопарой на перегрев охлаждающей жидкости. Язык управления – русский.
      ФУНКЦИИ ПК Визуализация процесса (в т.ч. графики температура/вакуум от времени), управление элементами печи (насосы, клапаны и пр.) редактирование программ, возможность распечатки протокола печи (формат MS Excel).
      Документы
      Каталог 2021
      10 Мб
      Термионик Т1
      703.4 Кб
      Термионик
      Компания «Термионика» специализируется на разработке и производстве вакуумных печей
      Все товары категории
      Все товары бренда Термионик
      Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос по товару
      Задать вопрос

      Назад к списку
      О Компании
      Лицензии и сертификаты
      Новости
      Статьи
      Галерея
      Контакты
      Каталог
      Силовые полупроводниковые приборы
      Полупроводниковые пластины и слитки
      Вакуумные печи
      Заготовки фотошаблонов
      Измерительные цифровые микроскопы
      Электронно-лучевые литографы
      Контакты

      +7 (495) 234-23-32
      Пн. – Пт.: с 9:00 до 18:00
      123317, Москва,
      ул. 3-я Красногвардейская, 3
      info@astol.su
      © 2025 Astol. Все права защищены.