АСТОЛ
Поставка и сервис контрольно-измерительного оборудования и технологического оборудования для задач микроэлектроники
+7 (495) 234-23-32
Пн. – Пт.: с 9:00 до 18:00
Заказать звонок
123317, Москва,
ул. 3-я Красногвардейская, 3
О Компании
  • Лицензии и сертификаты
Каталог
  • Силовые полупроводниковые приборы
    Силовые полупроводниковые приборы
    • Диоды
    • Силовые сборки
    • Тиристоры
    • Транзисторы
  • Полупроводниковые пластины и слитки
    Полупроводниковые пластины и слитки
    • GaAs пластины
    • Кремниевые пластины
    • Молибденовые пластины
  • Вакуумные печи
    Вакуумные печи
    • Водородные печи
    • Горизонтальные вакуумные печи
    • Шахтные вакуумные печи
  • Заготовки фотошаблонов
    Заготовки фотошаблонов
    • Для контактной фотолитографии
    • Для проекционной фотолитографии
  • Измерительные цифровые микроскопы
    Измерительные цифровые микроскопы
    • Система измерений Keyence IM-8000
  • Электронно-лучевые литографы
    Электронно-лучевые литографы
Производители
Сервис
Новости
Статьи
Галерея
Контакты
    АСТОЛ
    О Компании
    • Лицензии и сертификаты
    Каталог
    • Силовые полупроводниковые приборы
      Силовые полупроводниковые приборы
      • Диоды
      • Силовые сборки
      • Тиристоры
      • Транзисторы
    • Полупроводниковые пластины и слитки
      Полупроводниковые пластины и слитки
      • GaAs пластины
      • Кремниевые пластины
      • Молибденовые пластины
    • Вакуумные печи
      Вакуумные печи
      • Водородные печи
      • Горизонтальные вакуумные печи
      • Шахтные вакуумные печи
    • Заготовки фотошаблонов
      Заготовки фотошаблонов
      • Для контактной фотолитографии
      • Для проекционной фотолитографии
    • Измерительные цифровые микроскопы
      Измерительные цифровые микроскопы
      • Система измерений Keyence IM-8000
    • Электронно-лучевые литографы
      Электронно-лучевые литографы
    Производители
    Сервис
    Новости
    Статьи
    Галерея
    Контакты
      АСТОЛ
      • О Компании
        • Назад
        • О Компании
        • Лицензии и сертификаты
      • Каталог
        • Назад
        • Каталог
        • Силовые полупроводниковые приборы
          • Назад
          • Силовые полупроводниковые приборы
          • Диоды
          • Силовые сборки
          • Тиристоры
          • Транзисторы
        • Полупроводниковые пластины и слитки
          • Назад
          • Полупроводниковые пластины и слитки
          • GaAs пластины
          • Кремниевые пластины
          • Молибденовые пластины
        • Вакуумные печи
          • Назад
          • Вакуумные печи
          • Водородные печи
          • Горизонтальные вакуумные печи
          • Шахтные вакуумные печи
        • Заготовки фотошаблонов
          • Назад
          • Заготовки фотошаблонов
          • Для контактной фотолитографии
          • Для проекционной фотолитографии
        • Измерительные цифровые микроскопы
          • Назад
          • Измерительные цифровые микроскопы
          • Система измерений Keyence IM-8000
        • Электронно-лучевые литографы
      • Производители
      • Сервис
      • Новости
      • Статьи
      • Галерея
      • Контакты
      • +7 (495) 234-23-32
      123317, Москва,
      ул. 3-я Красногвардейская, 3
      info@astol.su

      Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3

      • Компания «Астол»
      • Каталог
      • Вакуумные печи
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      Новинка
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Вакуумная печь с опускающимся подом Термионик Т3
      • Описание
      • Характеристики
      • Документы
      Описание

      Преимущества:

      • удобство загрузки/выгрузки мелких, средних и крупных изделий, длинномерных деталей, обрабатываемых в вертикальном положении;
      • максимальный вес садки до 150 кг (в зависимости от размеров тепловой зоны);
      • полная автоматизация технологического процесса;
      • надежная система аварийного оповещения и защиты;
      • моноблочное исполнение;
      • простота наладки, управления и обслуживания.

      Схема загрузки:

      нижняя, осуществляется системой автоматического открывания/закрывания вакуумной камеры. Печь оснащена системой автоматического запирания пневматическими прижимами.

      Вакуумная система:

      в стандартной комплектации включает:

      • диффузионный насос;
      • двухступенчатый пластинчато-роторный форвакуумный насос;
      • широкодиапазонный вакуумметр;
      • вакуумный затвор;
      • клапаны и арматуру.

      Системы управления:

      управление всеми вакуумными агрегатами, мощностью нагревателей, подачей технических газов, а также электромеханическими элементами реализовано на базе промышленного контроллера Siemens-S7.
      Программное обеспечение выполняет следующие функции:
      • отображение схемы вакуумной системы печи с основными рабочими параметрами (температура в рабочей зоне, вакуум в рабочей зоне, а также в диффузионном насосе, температура нагревателей диффузионного насоса, скорость потока и давление технического газа);
      • управление вакуумными клапанами (осуществляет открывание/закрывание и мониторинг фактического состояния клапанов по каналу обратной связи с выводом ошибки в случае отказа клапана);
      • управление вакуумными насосами (осуществляет включение/отключение насосов).

      Вакуумная камера:

      изготовлена из нержавеющей стали 12Х18Н10Т и состоит из цилиндрической части с рубашкой охлаждения, а также охлаждаемых верхней и нижней эллиптических крышек. Токовводы, питающие нагреватели, а также линия электрической цепи от токовводов до трансформатора – водоохлаждаемые.

      Тепловая зона:

      включает боковой, верхний и нижний экранные блоки с тепловыми экранами. Предусмотрено два варианта исполнения тепловой зоны – экранная теплоизоляция и нагреватели из тугоплавких металлов или графита.

      Измерение температуры до 2000 °С – термоэлементы типа А (вольфрам-рениевая термопара), свыше 2000 °С — инфракрасный пирометр.

      Опции:

      • увеличение размеров рабочей зоны и максимальной рабочей температуры печи;
      • дополнительный форвакуумный насос для откачки диффузионного насоса;
      • комплектация печи дополнительными (в т.ч. автоматически выдвигающимися) термопарами и пирометром;
      • комплектация печи турбомолекулярным и спиральным насосами с необходимыми характеристиками;
      • система подачи технического газа в вакуумную камеру (одного или нескольких) при избыточном давлении не более 0,02 МПа;
      • работа при парциальном давлении – контролируемый впуск технического газа;
      • система ускоренного охлаждения садки (или закалки мелких деталей) продувом аргоном/азотом на базе дополнительного контура, включающего вентилятор и теплообменник;
      • система водяного охлаждения печи
      Характеристики
      РАБОЧАЯ ЗОНА Диаметр: 100 — 500 мм Высота: до 600 мм
      СХЕМА ЗАГРУЗКИ Нижняя Система автоматического открывания/закрывания печи, запирание печи – посредством пневматических прижимов
      РАБОЧИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ Максимальная длительная температура в рабочей зоне: 1000 - 2500 °С (в вакууме) Точность поддержания температуры: не хуже ±5 °С (по термопаре)
      ЗОНА НАГРЕВА Нагреватели: тугоплавкие металлы/графит Защитные экраны внутри вакуумной камеры: тугоплавкие металлы/графит Максимальная скорость нагрева: 10-20 °С/мин в интервале от комнатной температуры до рабочей
      ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ(НЕ БОЛЕЕ) Длина: 2300 мм Ширина: 1800 мм Высота: 2200 мм
      МАССА Не более 2000 кг
      МАССА САДКИ До 200 кг (в зависимости от габаритов рабочей зоны)
      ПИТАНИЕ 380 В, 50 Гц
      Документы
      Термионик Т3
      622.8 Кб
      Каталог 2021
      10 Мб
      Термионик
      Компания «Термионика» специализируется на разработке и производстве вакуумных печей
      Все товары категории
      Все товары бренда Термионик
      Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос по товару
      Задать вопрос

      Назад к списку
      О Компании
      Лицензии и сертификаты
      Новости
      Статьи
      Галерея
      Контакты
      Каталог
      Силовые полупроводниковые приборы
      Полупроводниковые пластины и слитки
      Вакуумные печи
      Заготовки фотошаблонов
      Измерительные цифровые микроскопы
      Электронно-лучевые литографы
      Контакты

      +7 (495) 234-23-32
      Пн. – Пт.: с 9:00 до 18:00
      123317, Москва,
      ул. 3-я Красногвардейская, 3
      info@astol.su
      © 2025 Astol. Все права защищены.